oporność jest bardzo wielka i kryształ nie przewodzi prądu. Warstwa zubożona jest objętością czynną licznika.<br> Istotny dla zastosowania półprzewodników jako detektorów promieniowania jądrowego jest duży ładunek przestrzenny warstwy zubożonej. Pary elektron-dziura tworzone na skutek wejścia cząstki promieniowania w objętość czynną są szybko zbierane na elektrodach. Podczas przenoszenia ładunku przez kryształ odtwarzają się początkowe warunki (ładunek przestrzenny). W tym sensie działanie licznika półprzewodnikowego jest podobne do działania komory jonizacyjnej. Trzeba jednak wypunktować zasadnicze różnice między obu tymi rodzajami detekcji.<br> Do zalet należy to, że licznik półprzewodnikowy:<br> 1) wymaga tylko 3,5 eV na utworzenie 1 pary jonów (komora jonizacyjna 35eV),<br> 2