stosowania elementów grzejnych z materiałów wysokotemperaturowych metalowych i niemetalowych.<br>W przemyśle półprzewodnikowym używa się urządzeń komorowych m.in. w procesach dyfuzyjnych. Wymagania jakie muszą one spełniać są szczególnie wysokie. Piece rurowe stosowane do tego celu muszą gwarantować utrzymanie temperatury na poziomie o 1250C w części roboczej komory (ok. 0,5 m długości) z dokładnością \9+0,5 K, a nawet \9+0,2 K. Są to piece pracujące z gazami aktywnymi chemicznie. Tego rodzaju ekstremalnie wysokie wymagania występują także w innych technologiach półprzewodnikowych i mogą być zrealizowane wyłącznie przy użyciu pieców elektrycznych. Zbliżone wymagania występują w piecach wielostrefowych wgłębnych przeznaczonych do