dokładność jest mniejsza niż w spektroskopii mas.<br> Oprócz detektorów półprzewodnikowych o złączu dyfuzyjnym (domieszki wprowadzane do płaszczyzn kryształu przez dyfuzję w wysokiej temperaturze) stosowane są tzw. detektory barierowo-powierzchniowe, w których jedna tylko utleniona powierzchnia krzemu typu n , pokryta cienką warstwą złota, tworzy tlenkową warstwę typu p ( 0,1m). Detektory te są używane głównie w spektroskopii i oraz do pomiarów zdolności hamowania dE/dx cząstek o wysokiej energii. Średnica czułej warstwy zubożonej jest mniejsza od 10 mm, a grubość mniejsza od 2 mm; ta ostatnia jest wystarczająca, by zatrzymać elektrony o energii mniejszej od 1,5 MeV, protony 20 MeV, cząstki ((...)) 80MeV