5 eV na utworzenie 1 pary jonów (komora jonizacyjna 35eV),<br> 2) ze względu na brak powolnych jonów dodatnich zbiera ładunki dużo szybciej,<br> 3) wymaga dużo niższego napięcia (zwykle mniej niż 100 V),<br> 4) ma dużo wyższą zdolność hamowania.<br> Do mankamentów należy zaliczyć brak możliwości mnożenia jonów w wyniku wtórnej jonizacji.<br> Ładunek w liczniku półprzewodnikowym jest określony zależnością ((...)) przy czym strata energii ((...)) cząstki, - efektywność zbierania jest zwykle bardzo bliska 1, wartość w wynosi 3,5 eV dla krzemu i ok. 2 eV dla germanu. Jak widać, sygnał jest przy stałym wprost proporcjonalny do energii zaabsorbowanej w detektorze. Ponieważ energia tworzenia pary jest